| |
潔淨室微塵粒之標準
全國聯邦規格(Fed.Std.209E)等級分類表
|
Cleanliness
class
|
Maximum
numbers of particles
|
|
0.1μm
|
0.2μm
|
0.3μm
|
0.5μm
|
5μm
|
|
Unit
volume
|
Unit
volume
|
Unit
volume
|
Unit
volume
|
Unit
volume
|
|
Metric
system
|
fps
system
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
(m3)
|
(ft3)
|
|
M1
|
|
350
|
9.91
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10
|
0.283
|
...
...
|
...
...
|
|
M1.5
|
1
|
1,240
|
35.0
|
265
|
7.5
|
106
|
3
|
35.3
|
1
|
...
...
|
...
...
|
|
M2
|
|
3,500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
...
...
|
...
...
|
|
M2.5
|
10
|
12,400
|
350
|
2,650
|
75
|
1,060
|
30
|
353
|
10
|
...
...
|
...
...
|
|
M3
|
|
35,000
|
991
|
7,570
|
214
|
3,090
|
87.5
|
1,000
|
28.3
|
...
...
|
...
...
|
|
M3.5
|
100
|
...
...
|
...
...
|
36,500
|
750
|
10,600
|
300
|
3,530
|
100
|
...
...
|
...
...
|
|
M4
|
|
...
...
|
...
...
|
75,700
|
2,140
|
30,900
|
875
|
10,000
|
283
|
...
...
|
...
...
|
|
M4.5
|
1000
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
35,300
|
1,000
|
247
|
7
|
|
M5
|
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
100,000
|
2,830
|
618
|
17.5
|
|
M5.5
|
10000
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
353,000
|
10,000
|
2,470
|
70
|
|
M6
|
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
1,000,000
|
28,300
|
6,180
|
175
|
|
M6.5
|
100000
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
3,530,000
|
100,000
|
24,700
|
700
|
|
M7
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
...
...
|
10,000,000
|
283,000
|
61,800
|
1,750
|
ISO/TC209 (ISO 14644-1)
潔淨標準
|
等級
Class
|
微塵粒限制(顆/m3)
|
|
0.1μm
|
0.2μm
|
0.3μm
|
0.5μm
|
5.0μm
|
|
ISO
9
|
-
|
-
|
-
|
35,200,000
|
293,000
|
|
ISO
8
|
-
|
-
|
-
|
3,520,000
|
29,300
|
|
ISO
7
|
-
|
-
|
-
|
352,000
|
2,930
|
|
ISO
6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
293
|
|
ISO
5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
29
|
|
ISO
4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
0
|
|
ISO
3
|
1,000
|
237
|
102
|
35
|
0
|
|
ISO
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
0
|
|
ISO
1
|
10
|
2
|
0
|
0
|
0
|
ISO/TC209 與 Fed.Std.209E之比較
|
|
Fed.Std.209E
|
微塵粒限制
|
|
英制
Class
|
SI制
Class
|
0.3μm
顆/m3
|
0.5μm粒徑
|
|
顆/ft3
|
顆/m3
|
|
ISO
9
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
ISO
8
|
100,000
|
M6.5
|
-
|
100,000
|
3,520,000
|
|
ISO
7
|
10,000
|
M5.5
|
102,000
|
10,000
|
352,000
|
|
ISO
6
|
1,000
|
M4.5
|
10,200
|
1,000
|
35,200
|
|
ISO
5
|
100
|
M3.5
|
1,020
|
100
|
3520
|
|
ISO
4
|
10
|
M2.5
|
102
|
10
|
352
|
|
ISO
3
|
1
|
M1.5
|
10
|
1
|
34
|
|
ISO
2
|
-
|
-
|
0
|
0
|
0
|
|
ISO
1
|
-
|
-
|
-
|
0
|
0
|
無塵室(ICR)無菌室(BCR)的環境狀況
|
美
國
聯
邦
規
範
邦
209B
|
等級
|
微粒子(ICR)
|
生物粒子(BCR)
|
照度
|
相對濕度
|
| 大小(μm) |
(個/ft3) |
個/ |
浮遊量(個/)
|
沈降量(個/m3週)
|
LUX
|
% RH
|
| 100 |
0.5以上 |
100以下 |
3.5以下 |
0.0035以下
|
12,900以下
|
1080
~
1620
|
45~40
|
| 10000 |
0.5以上
5.0以上 |
10000以下
65以下 |
350以下
2.0以下 |
0.0176以下
|
64,600以上
|
| 100000 |
0.5以上
5.0以上 |
100000以上
700以下 |
3500以下
700以下 |
0.0884以下
|
323,000以下
|
| 新鮮外氣量：送風量之5~20%或30ft3 /min.人數 |
| 壓力mmAq：1.3以上壓差+0.05 |
| 溫度°F/°C：72±5°F或22.2±2.8°C |
| 氣流換氣回數：層流方式0.45m/s±0.1m/s，亂流方式28回/時以上，天花板高8~12呎 |
清淨度衰退之原因
| 癥 結 點 |
違反原則 |
說 明 |
| 1.HEPA破損 |
A
|
依規定按時檢查 |
| 2.HEPA框未密合 |
A
|
依規定按時檢查 |
| 3.HEPA墊襯劣化 |
A
|
依規定按時檢查 |
| 4.過濾網太髒 |
C.D
|
各級濾網未依規定更換 |
| 5.風門受阻 |
C.D
|
調整開關因振動而鬆動 |
| 6.回風口受阻 |
C.D
|
調整開關鬆動或受室內設備阻檔 |
| 7.風管漏氣 |
A
|
停止送風時微粒子可能滲入風管內，從送風品滲入室內 |
| 8.風扇皮帶鬆弛(斷裂) |
C.D
|
定期檢查磨損程度 |
| 9.天花板壁面材剝落 |
B
|
檢討室內是否有腐蝕性氣體 |
| 10.天花板縫未密封 |
A
|
密封之，必要時使天花板內維持負壓 |
| 11.設備擺置不當 |
C.D
|
阻礙氣流，單向流尤為嚴重 |
| 12.製程更改 |
B.C
|
討論改善 |
| 13.隔間異動 |
C.D
|
室壓及風量未隨之調整 |
| 14.生產設備未強制排氣 |
D
|
排氣管受阻或吸氣罩效率不佳而擴散 |
| 15.輸送帶口滲入 |
A
|
直通非管制區，宜加大室壓差或增設緩衝區 |
| 16.開門太久 |
A
|
氣鎖室門不密合，造成室壓差不當 |
| 17.外氣量不足 |
C.D
|
外氣過濾網髒或外氣風門受阻 |
| 18.衣著不當 |
A.B
|
人為過失 |
| 19.進料污染 |
A
|
人為過失 |
| 20.供應氣體及藥劑污染 |
A
|
人為過失 |
| 21.未做妥清潔維護 |
C.D
|
人為過失 |
| 註：A：不帶入 |
B：不產生 |
C：不滯留 |
D：速排除 |
|
