潔淨室微塵粒之標準

全國聯邦規格(Fed.Std.209E)等級分類表

Cleanliness class
Maximum numbers of particles
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
Unit volume Unit volume Unit volume Unit volume Unit volume
Metric
system
fps
system
(m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3)
M1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 ... ... ... ...
M1.5 1 1,240 35.0 265 7.5 106 3 35.3 1 ... ... ... ...
M2   3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 ... ... ... ...
M2.5 10 12,400 350 2,650 75 1,060 30 353 10 ... ... ... ...
M3   35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 ... ... ... ...
M3.5 100 ... ... ... ... 36,500 750 10,600 300 3,530 100 ... ... ... ...
M4   ... ... ... ... 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 ... ... ... ...
M4.5 1000 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 35,300 1,000 247 7
M5   ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 100,000 2,830 618 17.5
M5.5 10000 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 353,000 10,000 2,470 70
M6   ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 1,000,000 28,300 6,180 175
M6.5 100000 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 3,530,000 100,000 24,700 700
M7 ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 10,000,000 283,000 61,800 1,750

ISO/TC209 (ISO 14644-1) 潔淨標準

等級
Class
微塵粒限制(顆/m3)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm
ISO 9 - - - 35,200,000 293,000
ISO 8 - - - 3,520,000 29,300
ISO 7 - - - 352,000 2,930
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 293
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 29
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 0
ISO 3 1,000 237 102 35 0
ISO 2 100 24 10 4 0
ISO 1 10 2 0 0 0

ISO/TC209 與 Fed.Std.209E之比較

ISO/
TC209
Class
Fed.Std.209E 微塵粒限制
英制
Class
SI 制
Class
0.1μm
顆/m3
0.5μm粒徑
顆/m3 顆/m3
ISO 9 - - - - -
ISO 8 100,000 M6.5 - 100,000 3,520,000
ISO 7 10,000 M5.5 102,000 10,000 352,000
ISO 6 1,000 M4.5 10,200 1,000 35,200
ISO 5 100 M3.5 1,020 100 3520
ISO 4 10 M2.5 102 10 352
ISO 3 1 M1.5 10 1 34
ISO 2 - - 0 0 0
ISO 1 - - - 0 0

無塵室(ICR)無菌室(BCR)的環境狀況

美國聯邦規範邦209B
等級 微粒子(ICR) 生物粒子(BCR) 照度 相對濕度
大小(μm) (個/ft3) 個/ 浮遊量(個/) 沈降量(個/m3週) LUX % RH
100 0.5以上 100以下 3.5以下 0.0035以下 12,900以下 1080
~
1620
45~40
10000 0.5以上
5.0以上
10000以下
65以下
350以下
2.0以下
0.0176以下 64,600以上
100000 0.5以上
5.0以上
100000以上
700以下
3500以下
700以下
0.0884以下 323,000以下
新鮮外氣量:送風量之5~20%或30ft3 /min.人數
壓力mmAq:1.3以上壓差+0.05
溫度°F/°C:72±5°F或22.2±2.8°C
氣流換氣回數:層流方式0.45m/s±0.1m/s,亂流方式28回/時以上,天花板高8~12呎

清淨度衰退之原因

癥 結 點 違反原則 說 明
1.HEPA破損 A 依規定按時檢查
2.HEPA框未密合 A 依規定按時檢查
3.HEPA墊襯劣化 A 依規定按時檢查
4.過濾網太髒 C.D 各級濾網未依規定更換
5.風門受阻 C.D 調整開關因振動而鬆動
6.回風口受阻 C.D 調整開關鬆動或受室內設備阻檔
7.風管漏氣 A 停止送風時微粒子可能滲入風管內,從送風品滲入室內
8.風扇皮帶鬆弛(斷裂) C.D 定期檢查磨損程度
9.天花板壁面材剝落 B 檢討室內是否有腐蝕性氣體
10.天花板縫未密封 A 密封之,必要時使天花板內維持負壓
11.設備擺置不當 C.D 阻礙氣流,單向流尤為嚴重
12.製程更改 B.C 討論改善
13.隔間異動 C.D 室壓及風量未隨之調整
13.隔間異動 C.D 室壓及風量未隨之調整
14.生產設備未強制排氣 D 排氣管受阻或吸氣罩效率不佳而擴散
15.輸送帶口滲入 A 直通非管制區,宜加大室壓差或增設緩衝區
16.開門太久 A 氣鎖室門不密合,造成室壓差不當
17.外氣量不足 C.D 外氣過濾網髒或外氣風門受阻
18.衣著不當 A.B 人為過失
19.進料污染 A 人為過失
20.供應氣體及藥劑污染 A 人為過失
21.未做妥清潔維護 C.D 人為過失
註:A:不帶入 B:不產生 C:不滯留 D:速排除
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